[18a-Z29-1~8] 16.3 シリコン系太陽電池

[18a-Z29-6] シリコンナノ結晶/酸化シリコン複合膜に対する水素化処理の検討

〇松見 優志¹、後藤 和泰²、ビルデ マーカス³、黒川 康良²、福谷 克之³、宇佐美 徳隆² (1.名大工、2.名大院工、3.東大生研)

キーワード：TOPCon型太陽電池、新規保護膜、水素化処理