[18a-Z29-1~8] 16.3 シリコン系太陽電池

[18a-Z29-7] 原子層堆積法(ALD)法を用いて作製したSiO₂膜の表面パッシベーション効果

〇(D)薄 謙志郎^1,2、望月 敏光²、棚橋 克人²、高遠 秀尚²、山口 克彦¹ (1.福島大、2.産総研)

キーワード：原子層堆積法、シリコン酸化膜