[18a-Z29-1~8] 16.3 Bulk, thin-film and other silicon-based solar cells

[18a-Z29-8] Hydrogenation for tunnel nitride passivation contacts using a Cat-CVD chamber

〇Yuli Wen¹, Thi Cam Tu Huynh¹, Keisuke Ohdaira¹ (1.JAIST)

Keywords:Cat-CVD, Hydrogenation, Passivation

Cat-CVD装置で生成する水素ラジカル(Cat-H)によってtunnel nitride passivation contacts (TNPCon)のパッシベーション性能を向上させる検討を行った。200 °C程度の低い基板温度でも、Cat-H処理によりTNPConのパッシベーション性能を改善できることを確認した。一方、適切な条件でのCat-H処理により、TNPConの接触抵抗の増大を抑制できることも明らかにした。