[18a-Z31-1~9] 17.3 層状物質

[18a-Z31-1] Mo酸化物薄膜を用いた面対面供給によるMoS₂のCVD合成

〇小倉 匡樹¹、安藤 淳²、今井 崇人¹、番 貴彦¹、山本 伸一¹ (1.龍谷大理工、2.産総研)

キーワード：二硫化モリブデン