[18a-Z31-1~9] 17.3 層状物質

△ [18a-Z31-2] アルカリ金属フリー環境下における気体原料を用いたマイクロメートルスケールWS₂原子層の化学気相成長

〇岡田 光博¹、岡田 直也¹、張 文馨¹、清水 哲夫¹、久保 利隆¹、石原 正統¹、入沢 寿史¹ (1.産総研)

キーワード：遷移金属ダイカルコゲナイド、化学気相成長

常温・常圧で気体であるH₂S並びにWF₆は、その高い工業適用性・原料供給制御性・スケーラビリティ故にWS₂薄膜の大面積成長原料として有用であるが、アルカリ金属アシストがない環境下ではそのグレインサイズは100 nm以下であり、高密度のグレインバウンダリに起因する品質の低下が問題であった。
本研究ではこれを解決すべく結晶成長の速度論的な観点から成長条件の最適化を行い、これら気体原料から1 μmオーダーのWS₂結晶を得ることに成功したので報告する。