[18a-Z32-1~10] 23.1 合同セッションN「インフォマティクス応用」

[18a-Z32-10] 多結晶シリコンウェハの蛍光イメージ中の転位クラスター領域の画像変換による特定

〇工藤 博章¹、松本 哲也¹、沓掛 健太朗²、宇佐美 徳隆³ (1.名大院情報、2.理研AIP、3.名大院工)

キーワード：機械学習、多結晶シリコン、転位クラスター

多結晶シリコンウェハの蛍光イメージ中の転位クラスター領域の特定を，機械学習であるGANによる画像変換で実現した．対象とするウェハと上下のウェハの3チャネルの強度情報による画像，対象のウェハの1チャネルの強度情報による画像について実験を行った．結果，転位領域を特定することが可能であることを確認した．また3チャネルの情報により，転位の発生・消滅に関する情報を組みいれることができることが示唆された．