[18a-Z32-1~10] 23.1 Joint Session N "Informatics"

[18a-Z32-9] Crystal orientation estimation model based on light reflection profile for multicrystalline silicon

〇(P)Takuto Kojima¹, Kyoka Hara², Kentaro Kutsukake³, Tetsuya Matsumoto¹, Hiroaki Kudo¹, Noritaka Usami² (1.Grad. Info. Nagoya Univ., 2.Grad. Eng. Nagoya Univ., 3.RIKEN AIP)

Keywords:multicrystalline silicon, Crystallographic orientation

多結晶シリコンの結晶方位情報をインゴットスケールで取得するため，大径試料に対して低コストで結晶方位推定を行なうことができる光学測定を入力とし，X線回折による結晶方位分布を教師データとしたニューラルネットワークモデルを開発した．訓練データの入力と教師データに対してデータ的に回転を施すことで大きく推定精度を改善した．