[18p-P08-1~4] 16.1 Fundamental properties, evaluation, process and devices in disordered materials

[18p-P08-4] Defect Termination of Flah-Lamp-Crystallized Poly-Si Films by Atomic Hydrogen Treatment using a Cat-CVD system

〇Yudai Yanagi¹, Tu Thi Cam Huynh¹, Keisuke Ohdaira¹ (1.JAIST)

Keywords:Hydrogen Treatment

FLAにより形成したpoly-Si膜に対し、Cat-CVD装置を用いた原子状水素処理による低欠陥化を試みた。原子状水素による少数キャリア寿命の増大が見られ、水素処理の有効性が確認された。また、水素処理時の水素流量を低くするにつれ、少数キャリア寿命が向上する傾向が見られた。Cat-CVDでの水素処理においては、適切な処理条件の選定が必要であると示唆される。