[18p-P09-1~5] 16.3 シリコン系太陽電池

[18p-P09-2] Cat-CVDによって堆積したSiN_xのファイヤースルーによる物性の変化

〇板坂 年希¹、Huynh Thi Cam Tu¹、大平 圭介¹ (1.北陸先端大)

キーワード：結晶Si太陽電池、Cat-CVD

Cat-CVD法で屈折率を変化させて堆積したSiN_xが、ファイヤースルー相当のアニールによってどのように膜質が変化するのかを調査した。屈折率スペクトルや透過率スペクトルの結果より、ファイヤースルーアニールによってSiN_xの物性が変化していることが分かった。膜中水素の脱離などが関係している可能性が示唆される。接触抵抗の屈折率依存性からは、屈折率が大きいほど接触抵抗が大きくなる傾向が見られた。