[18p-P09-1~5] 16.3 Bulk, thin-film and other silicon-based solar cells

[18p-P09-5] Characteristics of Si heterojunction solar cells with single and stacked amorphous Si films deposited by Cat-CVD

〇Yuki Terakado¹, Thi Cam Tu Huynh¹, Keisuke Ohdaira¹ (1.JAIST)

Keywords:Silicon heterojunction solar cell, Cat-CVD, passivation

i-a-Si積層パッシベーション膜の有効性を確認することを目的として、Siヘテロ接合太陽電池を作製し、特性を評価した。積層膜セルのV_ocは、単層膜セルと比較し、概ね高い値を示した。この結果より、Siヘテロ接合太陽電池のパッシベーション性能向上に、i-a-Si積層パッシベーション膜が有用であることが確認できた。また、各層の膜厚制御により、積層膜の有用性のさらなる向上が可能であると考えられる。