[18p-P09-1~5] 16.3 シリコン系太陽電池

[18p-P09-5] Cat-CVDで堆積した単層および積層非晶質Si膜を有するSHJ太陽電池の発電特性

〇寺門 裕樹¹、Huynh Thi Cam Tu¹、大平 圭介¹ (1.北陸先端大)

キーワード：Siヘテロ接合太陽電池、Cat-CVD、パッシベーション

i-a-Si積層パッシベーション膜の有効性を確認することを目的として、Siヘテロ接合太陽電池を作製し、特性を評価した。積層膜セルのV_ocは、単層膜セルと比較し、概ね高い値を示した。この結果より、Siヘテロ接合太陽電池のパッシベーション性能向上に、i-a-Si積層パッシベーション膜が有用であることが確認できた。また、各層の膜厚制御により、積層膜の有用性のさらなる向上が可能であると考えられる。