[18p-Z04-1~9] 特異構造の結晶科学　～学術とエレクトロニクス展開～

[18p-Z04-1] 非平衡状態を利用した窒化物結晶の合成と応用

〇藤岡 洋¹、上野 耕平¹、小林 篤¹ (1.東大生研)

キーワード：窒化物半導体、エピタキシャル成長

原子間の結合エネルギーの大きい窒化物半導体の結晶成長には、放電や紫外線などを併用した非平衡状態でのプロセスが有効と期待される。パルススパッタリングを用いた結晶成長技術では、III族元素とⅤ族元素の供給を制御することによって結晶成長の低温化が実現し、さらに、真空紫外光による補償欠陥導入の抑制効果が期待できる。本講演では、この手法によって作製した窒化物結晶の特性とその応用について最近の成果を報告する。