[18p-Z09-1~14] 3.9 Terahertz technologies

△ [18p-Z09-3] Improvement of the thermal sensitivity of MEMS sensors with mesh phononic nanostructures

〇Ryoko Yamamoto¹, Naomi Nagai², Kazuhiko Hirakawa^2,3, Akira Kojima¹, Nobuyoshi Koshida¹, Ya Zhang¹ (1.TUAT, 2.IIS Tokyo Univ., 3.INQIE Tokyo Univ.)

Keywords:terahertz, MEMS, phononic nanostructures

我々はGaAs両持ち梁MEMS共振器構造を用いて、新規の室温動作・高感度・高速テラヘルツボロメータを提案、実現した。本研究では、MEMS共振器の梁部分に多孔質メッシュフォノニック(PnC)ナノ構造を導入することで、MEMSボロメータの感度をさらに改善する。