[18p-Z09-1~14] 3.9 テラヘルツ全般

△ [18p-Z09-3] メッシュフォノニク構造を用いたテラヘルツMEMSセンサの熱感度の向上

〇山本 稜子¹、長井 奈緒美²、平川 一彦^2,3、小島 明¹、越田 信義¹、張 亜¹ (1.農工大工、2.東大生研、3.東大ナノ量子機構)

キーワード：テラヘルツ、MEMS、フォノニク構造

我々はGaAs両持ち梁MEMS共振器構造を用いて、新規の室温動作・高感度・高速テラヘルツボロメータを提案、実現した。本研究では、MEMS共振器の梁部分に多孔質メッシュフォノニック(PnC)ナノ構造を導入することで、MEMSボロメータの感度をさらに改善する。