[18p-Z14-1~4] 7.1 X線技術

[18p-Z14-4] Photon FactoryにおけるWolterミラー軟X線顕微鏡の開発

〇渡辺 紀生¹、青木 貞雄^2,1 (1.筑波大数物、2.CROSS)

キーワード：ミラー、軟X線、顕微鏡

Wolterミラーを用いた結像型軟X線顕微鏡をPhoton Factory BL11Dに構築し、60 - 900 eVで結像テストを行った。試料の透過像をWolterミラーで倍率19倍に拡大し、CCDカメラで撮像した。ダイヤモンド粉末をテストサンプルとして用い、900 eVまで分光イメージングを行うことが可能であった。