[18p-Z16-1~16] 9.1 誘電材料・誘電体

[18p-Z16-1] 溶液法 IGZO,IZO と Au 電極の間でのショットキー接触の形成

〇森本 貴明¹、山川 泰史¹、石井 啓介¹ (1.防衛大学校)

キーワード：紫外光電子分光、酸化物半導体

溶液法IGZO, IZO薄膜にAlとAuの両方を蒸着して薄膜トランジスタを作製した。ドレインをAu、ソースをAl電極とすると、ゲート電圧が正の時にドレイン電流が流れる一方、ソース、ドレインを入れ替えるとドレイン電流は大幅に減少する。UPS測定より、薄膜とAl電極間がオーミック、Au電極間がショットキー接触している可能性が示された。