[18p-Z17-1~20] 8.1 プラズマ生成・診断

△ [18p-Z17-1] 表面クリーニング用大気圧アルゴンプラズマジェットの発光分光計測による電子温度・電子密度診断

〇山下 雄也¹、秋葉 拓也¹、岩永 敏秀¹、山岡 英彦¹、伊達 修一¹、赤塚 洋² (1.都立産業技術研究センター、2.東工大研究院)

キーワード：衝突輻射モデル、発光分光計測、大気圧アルゴンプラズマジェット

ウエハ表面クリーニング用途に使用される大気圧アルゴンプラズマジェットの電子温度及び電子密度を診断した．上準位4p’[3/2]₁，4p’[1/2]₁，4p[1/2]₀，4p’[1/2]₀の発光線に基づいて算出した励起準位数密度分布を，衝突輻射モデルから求めた理論値とフィッテングして診断を行った．放電管の下流になるにつれて，電子温度，電子密度ともに低下した．