[18p-Z17-1~20] 8.1 プラズマ生成・診断

[18p-Z17-12] ダイオード整流型交流アークを用いたプレーナー熱プラズマジェットの発生

〇田中 学¹、釘宮 悠太¹、末永 拓也¹、渡辺 隆行¹、松浦 次雄² (1.九大院工、2.タソーアーク㈱)

キーワード：熱プラズマ、プラズマジェット、変動現象

革新的なプレーナー熱プラズマ場を構築し，その変動現象を解明することを目的とした．ダイオード整流を用いた多電極交流アークを発生させることで，二次元の平面熱プラズマ流を発生させることに成功した．高速度カメラによる観察の結果，ミリ秒オーダーでの交流周期に基づく変動が観測された．本研究で構築した熱プラズマジェット流を用いることで，基板表面の大面積熱処理技術の確立が望まれる．