[18p-Z17-1~20] 8.1 プラズマ生成・診断

[18p-Z17-15] 小型電子サイクロトロン共鳴プラズマ源における振動励起状態N₂の閾値イオン化質量分析法による検出

〇細山 真ノ介¹、佐々木 浩一¹ (1.北大工)

キーワード：振動励起状態、閾値イオン化質量分析法、電子サイクロトロン共鳴プラズマ

分子の振動状態を励起すると、触媒表面への化学吸着確率が向上することが報告されている。これは、プラズマの生成によって触媒表面での反応速度が向上する「プラズマ触媒」のメカニズムである可能性がある。触媒反応における振動励起状態の寄与を定量的に調べるためには、振動励起状態の密度や振動温度を簡単に測定する方法が必要である。本研究では、N₂の振動励起状態の検出に対する閾値イオン化質量分析法の適用性を検討した。