[18p-Z17-1~20] 8.1 プラズマ生成・診断

[18p-Z17-16] ECRイオン源における電磁波伝搬の近接条件推定およびマイクロ波給電最適化実験

〇久保 渉¹、阿南 雅大²、針崎 修平¹、大和田 一誠¹、佐藤 滉一¹、津田 知輝¹、加藤 裕史¹ (1.阪大院工、2.阪大工)

キーワード：電子サイクロトロン共鳴、マイクロ波、多価イオンビーム

我々は電子サイクロトロン多価共鳴イオン源(Electron Cyclotron Resonance Multicharged Ion Source: ECRIS)の多価イオンビーム生成の高効率化を目指し, ECRプラズマ中でのマイクロ波の伝搬特性を踏まえた新たな加熱機構を検討してきた. ECR領域を挟んだそれぞれ上流下流の位置でプラズマパラメータを測定し, 給電側におけるより効率的なECR加熱が示唆された. 本研究ではECR最適化を目指し, マイクロ波伝送系最適化を行う. より詳細なマイクロ波の近接条件の推定のために, 様々な動作条件下におけるプラズマパラメータの分布測定も行う.