[18p-Z17-1~20] 8.1 プラズマ生成・診断

[18p-Z17-17] 電子サイクロトロン共鳴多価イオン源におけるガスミキシング及びパルスマイクロ波の効果と不純物特性

〇津田 知輝¹、針﨑 修平¹、久保 渉¹、大和田 一誠¹、佐藤 滉一¹、加藤 裕史¹ (1.阪大院工)

キーワード：プラズマ、電子サイクロトロン共鳴