[18p-Z17-1~20] 8.1 プラズマ生成・診断

[18p-Z17-19] 電子サイクロトロン共鳴イオン源における動作条件とイオンビーム減速特性およびプロファイル

〇佐藤 滉一¹、針崎 修平¹、久保 渉¹、大和田 一誠¹、津田 知輝¹、加藤 裕史¹ (1.阪大院工)

キーワード：プラズマ、電子サイクロトロン共鳴