[18p-Z27-1~14] 11.5 Junction and circuit fabrication process, digital applications

△ [18p-Z27-7] Control of Nb Surface Oxide Film by Neutral Beam Processes and Effect on Q Value

〇(M1)Taichi Konno¹, Daisuke Ohori¹, Mutsuo Hidaka³, Kazuhiko Endo³, Hiroto Mukai⁴, Jaw Shen Tsai^4,5, Seiji Samukawa^1,2,3 (1.IFS, Tohoku Univ., 2.AIMR, Tohoku Univ., 3.AIST, 4.TUS, 5.CEMS, RIKEN)

Keywords:qubit, superconductivity, niobium

超伝導量子コンピュータの情報を扱うのに超伝導共振器がある。超伝導材料の中でもNbは化学的、機械的に安定であるという利点がある。Nbを用いて超伝導共振器を作製するとき、Q値を上げるためには表面酸化膜のサブオキサイドの抑制が重要であることがわかった。本研究ではエッチング後のNb表面を中性粒子ビーム酸化することでNb表面酸化が促進されることが分かった。