[18p-Z29-1~9] 16.3 シリコン系太陽電池

[18p-Z29-1] 三次元キャリアシミュレーションを用いた多結晶Si中三重点の電気的特性の評価

〇(M2)三田村 和樹¹、沓掛 健太朗²、小島 拓人³、宇佐美 徳隆¹ (1.名大院工、2.理研AIP、3.名大院情報)

キーワード：三重点、キャリアシミュレーション、多結晶シリコン

我々は、任意の形状に適用できる三次元キャリアシミュレーションを自作し、実験から得られたフォトルミネッセンスイメージング像と比較することで、多結晶Siの三重点近傍の電気的特性を調査した。シミュレーションにおいて、三重点近傍の線状キャリア再結合を考慮することで、実験結果と定性的に一致した。このことから、三重点近傍に周囲の電気的に活性な粒界よりも再結合速度の大きな再結合中心が存在することが示唆された。