2021年第68回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

17 ナノカーボン » 17.3 層状物質

[18p-Z31-1~19] 17.3 層状物質

2021年3月18日(木) 13:30 〜 18:30 Z31 (Z31)

中野 匡規(東大)、森山 悟士(東京電機大)

17:00 〜 17:15

[18p-Z31-14] XPS時間依存測定による二次元MoS2膜の放射線損傷に関する研究

松沢 理宏1,2、五十嵐 智3、小林 大輔2、若林 整3、廣瀬 和之1,2 (1.東大院工、2.JAXA宇宙研、3.東工大・工学院)

キーワード:二硫化モリブデン、X線光電子分光法、放射線損傷

二次元MoS2層を利用したFETの放射線損傷を宇宙応用に向けて評価した.SiO2膜上にスパッタで成膜しその後硫化処理を施した2種類の3nm-MoS2薄膜に対しXPS時間依存測定を行い,X線照射による電荷捕獲と結晶相転移を評価した.その結果,スパッタ条件と硫化処理の条件によって,MoS2膜中トラップの種類が電子捕獲あるいは正孔捕獲になることや,結晶相転移が起きることを明らかにした.