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[18p-Z31-4] 真空中でレーザー照射により得られた1T-MoTe2と2H-MoTe2のコンタクト特性の評価
キーワード:MoTe2、レーザー照射、接触特性
2H-MoTe2に真空中でレーザー照射を行い、照射された部分をラマン分光法で解析したところ、元の2H相のE2gピーク(232 cm-1)とA1gピーク(171 cm-1)が消失し、1T相のラマンピークと一致する155 cm-1、245 cm-1の新しいピークが発生していることによって、結晶が2H(半導体相)から1T(半金属相)に変化すると考える。この結果を踏まえて1T-MoTe2と2H-MoTe2の接触特性を調べた。