[18p-Z32-1~11] 3.7 レーザープロセシング

△ [18p-Z32-6] フェムト秒レーザーによるガラスの改質測定システムの開発

〇(M1)住谷 大志¹、谷 峻太郎¹、櫻井 治之¹、小林 洋平¹ (1.東大物性研)

キーワード：導波路

集光されたフェムト秒パルスの非線形光学効果で透明材料内部に屈折率変化が誘起される現象を用いた導波路や光学素子の作製はDirect Laser Writing (DLW)と呼ばれ、小型光デバイスの作製技術として注目されてきた。しかしDLWで所望の導波路を与える改質の理論的予測・実験的探索は困難であり、これには大量な実験データと深層学習に基づいた改質予測シミュレータの構築が有効と考えられている。本研究ではこの実験データ取得システムの構築を目指し、加工の実験系を構築して導波路構造を与えるようなガラスへの照射条件の探索を行った。