[18p-Z32-1~11] 3.7 レーザープロセシング

△ [18p-Z32-7] フェムト秒レーザー穴あけ加工におけるフィードバック制御のチューニング

〇場本 圭一¹、谷 峻太郎¹、小林 洋平¹ (1.東大物性研)

キーワード：レーザー加工、フェムト秒レーザー、最適化