[18p-Z33-1~17] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[18p-Z33-1] [第11回女性研究者研究業績・人材育成賞（小舘香椎子賞）受賞記念講演] スパッタエピタキシー法を駆使したZnO系新材料の開発

〇板垣 奈穂¹ (1.九大)

キーワード：酸化物半導体、酸窒化物半導体、スパッタリング