[19a-Z02-1~8] 1.5 Instrumentation, measurement and Metrology

[19a-Z02-5] Re-evaluation of uncertainty for the trace-moisture standard in argon

〇MINAMI AMANO¹, HISASHI ABE¹ (1.NMIJ/AIST)

Keywords:trace moisture, humidity, semiconductor

多種ガス用微量水分発生装置を用いて、半導体材料ガスを対象としたガス中微量水分の一次標準を開発してきた。過去に開発したアルゴン中微量水分標準(10 ppb〜1 ppm)は、相対拡張不確かさが11 %〜8.3 %となっていたが、本研究ではこれを2.7 %〜1.5 %に低減した。