[19a-Z05-1~10] 3.14 Optical control devices and optical fibers

[19a-Z05-4] A study of etching process for formation of air bridge waveguides

〇(M2)Naoki Yamanaka¹, Yoshiki Hayama¹, Katsumi Nakatsuhara¹ (1.Kanagawa Inst.)

Keywords:optical switch, air bridge, optical Waveguide

強誘電性液晶を用いた可変位相シフタの性能向上を目指してエアブリッジ型Nb₂O₅導波路の製作プロセスの検討を行ったので報告する。