[19a-Z07-1~11] 3.7 Laser processing

[19a-Z07-10] Holographic ultraviolet nanosecond laser processing using adaptive optics

〇Satoshi Hasegawa¹, Mizuki Kato¹, Yoshio Hayasaki¹ (1.Utsunomiya Univ.)

Keywords:adaptive optics, ultraviolet laser processing, computer-generated hologram

本研究では，CGHを用いたビーム整形によるポリイミドのレーザー加工について述べる.また，補償光学により加工光学系に含まれる収差を補正し，加工の高精度化を行なう.