[19a-Z07-1~11] 3.7 レーザープロセシング

[19a-Z07-10] 波面補償を用いたホログラフィック紫外ナノ秒レーザー加工

〇長谷川 智士¹、加藤 瑞樹¹、早崎 芳夫¹ (1.宇都宮大)

キーワード：補償光学、紫外レーザー加工、計算機ホログラム

本研究では，CGHを用いたビーム整形によるポリイミドのレーザー加工について述べる.また，補償光学により加工光学系に含まれる収差を補正し，加工の高精度化を行なう.