11:30 AM - 11:45 AM
[19a-Z07-10] Holographic ultraviolet nanosecond laser processing using adaptive optics
Keywords:adaptive optics, ultraviolet laser processing, computer-generated hologram
本研究では,CGHを用いたビーム整形によるポリイミドのレーザー加工について述べる.また,補償光学により加工光学系に含まれる収差を補正し,加工の高精度化を行なう.