[19a-Z07-1~11] 3.7 レーザープロセシング

[19a-Z07-9] 【注目講演】強誘電性液晶空間光変調素子を用いたパルス毎ビーム成形によるホログラフィックフェムト秒レーザー加工

野崎 健太¹、田辺 綾乃²、長谷川 智士¹、〇早崎 芳夫¹ (1.宇都宮大、2.シチズン)

キーワード：空間光変調素子、フェムト秒レーザー加工、計算機ホログラム

本研究では，高いフレームレートを有する強誘電性液晶(FLCoS-SLM: ferroelectric liquid crystal on silicon SLM)を用いて，1kHz以上のパルス間ビーム成形を実現する．本報告では，1kHz以上の高繰り返しのホログラフィックレーザー加工を実現する．