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△ [19a-Z08-1] カシミール-リフシッツ力が支配する単結晶シリコンナノギャップの最小空隙
キーワード：カシミール-リフシッツ力、ナノギャップ、MEMS
一様間隔で対向面積が確保できるため応用先が幅広い平行平板型ナノギャップは数nm-数十nm程度のギャップを作製・維持することが困難であった．本研究では，MEMSにより単結晶シリコン梁をへき開して大面積平滑面のナノギャップを作製し，最小ギャップ間隔がカシミール-リフシッツ力により制限される現象をギャップのプルイン特性の測定により観察・評価した．実験では10-15 nmの間隔においてプルインが生じ，数値計算と良く一致した．