[19a-Z10-1~10] 3.11 フォトニック構造・現象

[19a-Z10-5] 原子分光測定に向けた入出力導波路実装SiNフォトニック結晶素子の特性評価

〇滝口 雅人^1,2、向井 哲哉²、土澤 泰^1,3、角倉 久史^1,2、武村 尚友^1,2、今井 弘光²、新家 昭彦^1,2、納富 雅也^1,2 (1.NTT NPC、2.NTT 物性研、3.NTT 先デ研)

キーワード：フォトニック結晶、原子分光、窒化ケイ素

スロット構造を有するフォトニック結晶素子[1]を用いた原子分光実験は将来の量子情報素子や表面物理探査において重要である。これまで、我々はSiNフォトニック結晶 [2]を作製してきたが、フォトニック結晶のエアブリッジ化との兼ね合いにより、入出力導波路のサスペンド構造が必要があり、入出力導波路を実装していなかった。本研究では、フォトニック結晶W8導波路を入出力導波路として用い、通信波長帯と可視光領域で動作するスロット構造を有するフォトニック結晶W1導波路を作製し、その透過特性を調べた。
[1] T. Yamamoto, et.al., Opt. Express 16, 13809 (2008)
[2] S. Sergent, et.al., ACS Photonics, 4, 1040 (2017)