[19a-Z13-1~8] 6.1 強誘電体薄膜

△ [19a-Z13-3] 種々の基板上に成長した正方晶(1-x)(Bi,Na)TiO₃- xBaTiO₃膜の特性評価

〇石濱 圭佑¹、舘山 明紀¹、清水 荘雄^1,3、佐藤 祐介²、山岡 和希子²、鶴丸 理沙子²、舟窪 浩¹ (1.東工大物院工、2.TDK株式会社、3.物・材機構)

キーワード：非鉛圧電材料、強誘電体、薄膜

近年、圧電センサ等の薄膜MEMS応用が注目される中、PZTに代表される有害な鉛系圧電材料の代替材料の開発が強く求められている。非鉛圧電材料である(Bi, Na)TiO₃-BaTiO₃はMPB組成近傍でよく研究されてきたが、他組成での研究報告数は未だ少ない。今回我々は広い組成領域における種々の基板上への(Bi, Na)TiO₃-BaTiO₃膜の作製に成功し、それぞれの膜において強誘電特性及び圧電特性を確認したためそれを報告する。