[19a-Z13-1~8] 6.1 強誘電体薄膜

△ [19a-Z13-4] 水熱合成(Bi,K)TiO₃薄膜作成における原料の影響

〇(M1C)窪田 るりか¹、舘山 明紀¹、伊東 良晴¹、白石 貴久¹、黒澤 実¹、舟窪 浩¹ (1.東工大)

キーワード：強誘電体、水熱合成法、非鉛

(Bi,K)TiO₃は構成元素の揮発性により密度の高い膜の作成が困難とされてきたが、我々は水熱合成法を用いることで高品質な膜の作成を行うことに成功した。しかし水熱合成法により作製した(Bi,K)TiO₃膜はc軸方向に伸張した格子を有しており、TiサイトへのK原子の混入や原料溶液由来のH2OやOH基の存在が考えられた。従って本研究ではKOH溶液濃度並びにBi、Ti原料濃度を検討し、構造及び電気特性に原料が与える影響の調査を行った。