[19a-Z13-1~8] 6.1 強誘電体薄膜

△ [19a-Z13-5] 100℃以下で作製した (Bi,K)TiO₃薄膜の圧電特性評価

〇伊東 良晴¹、舘山 明紀¹、窪田 るりか¹、白石 貴久¹、黒澤 実¹、舟窪 浩¹ (1.東工大)

キーワード：強誘電体、薄膜、水熱合成

水熱合成法を用いて(100)_cSrRuO₃//(100)SrTiO₃基板上に作製した (Bi,K)TiO₃膜は、(001)分極軸配向を有し、分極軸配向Pb(Zr,Ti)O₃と同程度の高い残留分極（P_r = 85 μC/cm）を有することを明らかにした。さらに作製温度を100ºCまで低下させても、圧電特性がほとんど変化しないことを報告してきた。さらなる低温化が可能になると、多種のポリマーシートなどのフレキシブル基材上への製膜の可能性が広がり、合成圧力が大気圧程度まで減少できる可能性が出てくる。本研究では、さらに低温での (Bi,K)TiO₃膜の作製および電気特性評価を行った。