[19a-Z13-1~8] 6.1 強誘電体薄膜

△ [19a-Z13-7] 誘電率の異なる材料を組み合わせた圧電薄膜トランスの作製

〇(B)岸 大貴^1,2、木下 紗里那^1,2、泉 航太^1,2、柳谷 隆彦^1,2,3 (1.早大先進理工、2.材研、3.JST-CREST)

キーワード：圧電体、強誘電体、エネルギーハーベスティング

環境電波を用いたエネルギーハーベスティングの場合、アンテナとダイオードから成るレクテナと呼ばれる素子を用いて電波をRF-DC変換する。本研究ではレクテナ昇圧回路のための素子として、入力側である単層側にPZT系エピ薄膜、出力側である多層側にc軸配向ScAlN/SiO₂多層膜を積層させた圧電薄膜トランスを提案する。入力側圧電薄膜として、出力側に比べ高誘電率な圧電薄膜を堆積させることで、入力側と出力側でインピーダンス変換をすることが出来る。