[19a-Z15-1~10] 6.4 薄膜新材料

[19a-Z15-2] In₂O₃系透明導電膜におけるFの有効ドーピング濃度

〇大榮 海斗¹、相川 慎也¹ (1.工学院大)

キーワード：透明導電膜、In2O3系材料、アニオンドーピング