[19a-Z15-1~10] 6.4 Thin films and New materials

[19a-Z15-4] 3D control of a non-equilibrium atmospheric plasma with applying magnetic field to deposit a porous-TiO₂layer for a dye sensitized solar cell

〇Yuki Nagao¹, Minato Sawamura¹, Shinji Mayumi¹, Masayuki Okuya¹ (1.Shizuoka Univ.)

Keywords:plasma, dye-sensitized solar cell, TiO2

本研究グループでは、大気圧非平衡プラズマを利用した金属酸化物の製膜を行っている。前回、チタニウム(Ⅳ)テトライソプロポキシド(TTIP)を原料として、高窒素・低酸素濃度下における多孔質TiO₂層の作製、および色素増感太陽電池(DSSC)への応用を報告した。本研究では、プラズマに磁場を印加して3次元的に制御することで、製膜時の効率的なプラズマ照射を実現し、DSSCの高効率化を試みた。