[19a-Z16-1~7] 9.3 ナノエレクトロニクス

[19a-Z16-6] 金属ナノ微粒子膜の高周波整流特性の検討

〇岩田 賢明¹、西村 智紀²、アルカ シン³、佐藤 弘明⁴、猪川 洋⁴ (1.静岡大工、2.静岡大院・総合科学技術、3.静岡大・創造科学技術、4.静岡大・電子研)

キーワード：単電子トランジスタ、ナノ微粒子、ナノエレクトロニクス

本研究では、熱酸化膜SiO₂/Si基板上にマイクロオーダーのAu/Ti電極を作製した後に、電極間に高周波スパッタリングによるNb薄膜成長の初期過程を利用しナノドットを作製し、その電気的特性の評価を行った。