[19a-Z16-1~7] 9.3 Nanoelectronics

[19a-Z16-6] Study on High-Frequency Rectifying Characteristics of Metallic Nanogranular Film

〇Yoshiaki Iwata¹, Tomoki Nishimura², Alka Singh³, Hiroaki Satoh⁴, Hiroshi Inokawa⁴ (1.Shizuoka Univ., 2.GSIST, Shizuoka Univ., 3.GSST, Shizuoka Univ., 4.RIE, Shizuoka Univ.)

Keywords:Single-Electron Transistor, Nanoparticle, Nanoelectronics

本研究では、熱酸化膜SiO₂/Si基板上にマイクロオーダーのAu/Ti電極を作製した後に、電極間に高周波スパッタリングによるNb薄膜成長の初期過程を利用しナノドットを作製し、その電気的特性の評価を行った。