[19a-Z17-1~8] 8.3 Plasma nanotechnology

[19a-Z17-1] Study of the force on the optical trapping particle in Ar plasma

〇KUNIHIRO KAMATAKI¹, Sakyo Okunaga¹, Ryosuke Iwamoto¹, Kentaro Tomita², Pan Yiming², Daisuke Yamashita¹, Naho Itagaki¹, Kazunori Koga^1,3, Masaharu Shiratani¹ (1.Kyushu Univ., 2.Hokkaido Univ., 3.NINS)

Keywords:semiconductor, optical tweezers, measurement of electric field

本研究では, 光ピンセット法によりプラズマ中微粒子を捕捉・移動し, その微粒子挙動によりプラズマ中の電場計測を試みてきた．プラズマ中の光捕捉された微粒子には, 重力mg, 静電気力qE及びレーザーから受ける作用力Frayが作用する. 電場計測のためには, レーザーから受ける作用力Frayを正確に評価する必要がある. そこで本稿では, 電場強度を校正するために, レーザーから受ける作用力Frayを評価した結果を報告する.