[19a-Z17-1~8] 8.3 プラズマナノテクノロジー

[19a-Z17-1] Arプラズマ中の光捕捉微粒子への作用力の研究

〇鎌滝 晋礼¹、奥永 冴京¹、岩本 亮介¹、富田 健太郎²、Pan Yiming²、山下 大輔¹、板垣 奈穂¹、古閑 一憲^1,3、白谷 正治¹ (1.九大シス情、2.北大院工、3.自然科学研究機構)

キーワード：半導体、光ピンセット、電場計測

本研究では, 光ピンセット法によりプラズマ中微粒子を捕捉・移動し, その微粒子挙動によりプラズマ中の電場計測を試みてきた．プラズマ中の光捕捉された微粒子には, 重力mg, 静電気力qE及びレーザーから受ける作用力Frayが作用する. 電場計測のためには, レーザーから受ける作用力Frayを正確に評価する必要がある. そこで本稿では, 電場強度を校正するために, レーザーから受ける作用力Frayを評価した結果を報告する.