[19a-Z17-1~8] 8.3 プラズマナノテクノロジー

[19a-Z17-5] プラズマを用いてカーボンナノ粒子層を含むミルフィーユ型a-C:H膜の機械的特性

〇古閑 一憲^1,2、黄 成和¹、Hao Yuan¹、鎌滝 晋礼¹、奥村 賢直¹、板垣 奈穂¹、白谷 正治¹ (1.九大シス情、2.自然科学研究機構)

キーワード：DLC、プラズマ、ナノ粒子