[19a-Z18-1~12] 12.4 有機EL・トランジスタ

△ [19a-Z18-5] 液晶性を利用した高速ブレードコートによる有機半導体の同時製膜パターニングを用いたトランジスタとその特性評価

〇(M2)近藤 光一郎¹、半那 純一¹、飯野 裕明¹ (1.東工大未来研)

キーワード：液晶性有機半導体、パターニング、ブレードコート

有機半導体製膜における溶液プロセスとして，ブレードコートを用いた同時製膜パターニングは，作製される半導体膜の均一性と高速製膜の両立が難しい。報告例では製膜速度が数 mm/minに過ぎず，実用化は困難である。本研究では，液晶性有機半導体が示す，自己組織化による高い配向性を利用することで，実用に近い高速のブレードコート（900mm/min）での均一パターニングに成功し，同時に近年の報告と比較して高いトランジスタ特性を得た。