[19a-Z18-1~12] 12.4 Organic light-emitting devices and organic transistors

△ [19a-Z18-7] Transfer Patterning of Solution-processed Organic Single Crystals and High-performance CMOS Logic Circuits

〇Tatsuyuki Makita^1,2, Hiroto Usui¹, Yoma Ninomiya¹, Shohei Kumagai¹, Shuta Tsujimura¹, Yu Yamashita^1,3, Toshihiro Okamoto^1,2,4, Mari Sasaki¹, Shun Watanabe^1,2, Jun Takeya^1,2,3 (1.Univ. of Tokyo, 2.OPERANDO-OIL, 3.NIMS, 4.JST-PRESTO)

Keywords:organic semiconductor, organic transistor, CMOS

有機半導体は塗布法によって高性能な薄膜作製が可能であることから次世代電子デバイスの基盤材料として期待されている。半導体膜を論理回路で利用するためには、各素子を電気的に孤立させるためのパターニングが重要である。本研究では、凹凸形状を有するマイクロスタンプと塗布型有機半導体単結晶薄膜の転写法を組み合わせたパターニング手法を新たに開発し、高性能なCMOS論理回路作製を行った。